ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾ LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT SnO2:Sb ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON PHẢN ỨNG
Vietnam Journals Online
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾ LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT SnO2:Sb ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON PHẢN ỨNG
SUBSTRATE TEMPERATURE EFFECTS ON STRUCTURE AND ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF TCO THIN FILM SnO2: Sb PREPARED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING |
|
| Creator |
Lê Văn Ngọc; ĐH Khoa học Tự nhiên - ĐHQG.TP.HCM
Phọc Ngọc Hiền; ĐH Khoa học Tự nhiên - ĐHQG.TP.HCM Hoàng Lê Thanh Trang; ĐH Khoa học Tự nhiên - ĐHQG.TP.HCM Trần Tuấn; ĐH Khoa học Tự nhiên - ĐHQG.TP.HCM Huỳnh Thành Đạt; ĐHQG.TP.HCM |
|
| Subject |
Khoa học
Màng dẫn điện trong suốt; TCO; SnO2:Sb; Cấu trúc và độ dẫn của SnO2:Sb. Science Transparent conductive film; TCO; SnO2:Sb; Structure and conductivity of SnO2:Sb. |
|
| Description |
Màng điện cực trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn (tinh khiết 99,5%) pha Sb (5% khối lượng Sb). Quá trình tạo màng được thực hiện trong hỗn hợp khí Ar (tinh khiết 99,99%) và O2 (tinh khiết 99,999%). Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10-5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá trị ổn định trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 450 0C. Sự phụ thuộc của kích thước hạt tinh thể và tính dẫn diện của màng vào nhiệt độ đế cũng được khảo sát.
The transparent electrode films SnO2:Sb were prepared by reactive magnetron sputtering method on glass substrate with various substrate temperatures. The material of target is alloy of Sn (99,5% purity) doped Sb (5% Sb by weight). The deposition processes were carried out in mixture of Ar (99,99% purity) and O2 (99,999% purity) gas. The vacuum inside the deposition chamber can get to about 10-5torr. The substrate temperatures during the depositing processes were kept at fixed values between the room temperature and 4500C. The dependence of crystal size and conductivity of films on substrate temperature were also investigated. |
|
| Publisher |
Vietnam National University Hochiminh City
|
|
| Contributor |
—
— |
|
| Date |
2010-06-24
|
|
| Type |
—
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://www.vjol.info/index.php/JSTD/article/view/2806
|
|
| Source |
Tạp chí Phát triển Khoa học và Công nghệ; T. 12, S. 17 (2009); 16-21
Tạp chí Phát triển Khoa học và Công nghệ; T. 12, S. 17 (2009); 16-21 |
|
| Language |
vi
|
|
| Coverage |
—
— — — — — |
|
| Rights |
Copyright belongs to VNU-HCM “Science and Technology Development” Journal. Any copy or reprinting of any form must be permitted by the Journal.
|
|